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流化床化學(xué)氣相沉積(FB CVD)
技術(shù)優(yōu)勢明顯:
傳熱傳質(zhì)效率高:流化床反應(yīng)器的傳熱和傳質(zhì)系數(shù)比傳統(tǒng)的固定床反應(yīng)器和移動床反應(yīng)器高 1 個數(shù)量級以上,反應(yīng)更充分。
溫度控制均勻:反應(yīng)區(qū)溫度均勻,對于強熱效反應(yīng)的熱擴散和熱補充有明顯優(yōu)勢,在控溫反應(yīng)的溫度精度一致性上也有不可替代的優(yōu)勢。
單位產(chǎn)能大:能效和接觸充分,單位床層的生產(chǎn)能力遠遠大于傳統(tǒng)的固定床反應(yīng)器和移動床反應(yīng)器。
易于物料處理:反應(yīng)區(qū)質(zhì)點均處于流動態(tài),易于物料的加注和卸出,可提升能耗利用效率和生產(chǎn)效率。
自動化程度高:設(shè)備采用自動化控制,更加接近于商業(yè)化設(shè)備,性能穩(wěn)定性明顯提高。
能源領(lǐng)域應(yīng)用潛力大:在能源存儲與轉(zhuǎn)換方面,F(xiàn)B CVD 可用于制備三維石墨烯網(wǎng)絡(luò)等材料。如通過該工藝制備的三維石墨烯網(wǎng)絡(luò)作為鋰硫電池的電極,表現(xiàn)出良好的倍率性能和循環(huán)穩(wěn)定性,為大規(guī)模應(yīng)用三維石墨烯材料開辟了新途徑,隨著新能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,其需求有望增加。
納米材料制備優(yōu)勢突出:FB CVD 能夠?qū)崿F(xiàn)碳基精細粉末的均勻包覆,可用于制備各種復(fù)合材料,在電催化和鈉離子電池陽極等領(lǐng)域有潛在應(yīng)用。例如,通過該方法可合成錫硫族化合物與硬碳粉末的復(fù)合材料,這類材料在電子學(xué)領(lǐng)域,如光電子學(xué)、熱電學(xué)等方面具有較高的應(yīng)用潛力。
半導(dǎo)體制造需求增長:在半導(dǎo)體制造的先進封裝環(huán)節(jié),F(xiàn)B CVD(可流動 CVD)因能填充納米級間隙,成為關(guān)鍵工藝。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,特別是先進制程技術(shù)向 3nm 及以下節(jié)點突破,以及存儲芯片市場需求的復(fù)蘇,對 FB CVD 設(shè)備的需求也將持續(xù)增長。
環(huán)保領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊:相關(guān)研究表明,利用類似 FB CVD 的單階段浮動催化劑 CVD 法制備的垂直排列碳納米管具有超疏水性能和對重金屬離子的吸附能力,在油水分離和水凈化等環(huán)保領(lǐng)域具有應(yīng)用潛力,有助于解決環(huán)境污染問題,符合未來環(huán)保產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。
設(shè)備工藝已經(jīng)成熟:儒佳科技在新材料領(lǐng)域進行探索,十年磨一劍的不斷創(chuàng)新,逐漸形成以物理研磨和化學(xué)沉積方法的工藝設(shè)備的專業(yè)性新材料設(shè)備廠家。
